半导体质检新利器，CCD 线径检测实力出

半导体制造进入纳米级时代，晶圆作为芯片核心载体，其加工与传输过程的位置精度、角度一致性直接决定良率与成本。

在切片、研磨、镀膜、划片、封装前对位等全流程中，晶圆极易因机械震动、传动误差、工装偏差产生微小偏移、角度倾斜、轨迹跑偏。即便微米级偏差，也会导致切割崩边、套刻偏移、键合失效等批量问题，严重制约产能与良率提升。传统机械定位、人工对位方式精度低、响应慢、无法适配高速量产，已难以满足先进制程需求。

在此背景下，兰宝CCD线径纠偏传感器凭借非接触、高精度、动态实时纠偏的核心能力，成为半导体晶圆制程中精准对位、偏差校正的核心配套设备，为自动化精密生产提供可靠保障。

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LANBAO SENSOR

兰宝CCD线径纠偏传感器使用介绍

工作时，发射端生成均匀平行光幕覆盖晶圆边缘，接收端 CCD 矩阵捕捉被遮挡的明暗边界，实时输出晶圆偏移值，直接反馈至产线控制系统，驱动UVW平台完成毫秒级动态校正，形成 “测量 — 计算 — 纠偏” 闭环控制。全程仅做数据化位置传感，不拍照、不成像、不做缺陷检测，响应更快、稳定性更强、成本更优，完美契合半导体量产场景。

针对晶圆制程严苛工况，兰宝CCD线径纠偏传感器进行专项优化，实现“±1μm 超高采集精度”，可精准捕捉8/12英寸晶圆边缘细微位移与角度偏差。设备内置动态温度漂移补偿算法，温度系数低至±8μm/℃，有效抵御车间温度波动、轻微震动、粉尘干扰，长期连续作业无数据漂移、无校准偏差。支持24小时不间断高速动态纠偏，在保障纳米级对位精度的同时，大幅提升产线流转效率，兼顾精密性与高效性。

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LANBAO SENSOR

三大核心优势，精准匹配半导体量产刚需

o高精度动态纠偏：实时采集边缘线径与位置数据，毫秒级响应偏差校正，杜绝静态对位滞后性，适配高速自动化产线。

o高稳定抗干扰作业：搭载抗强光滤波模块，可在 3000lux光照环境下稳定运行，适配高洁净度、强干扰的半导体车间工况。

o非接触无损适配：采用光学光幕非接触测量，不接触晶圆表面与边缘，彻底杜绝超薄晶圆（≤200μm）划伤、挤压损伤，保障晶圆完整性。

目前，兰宝CCD线径纠偏传感器已广泛应用于晶圆预对准、流水线传输纠偏、划片前对位、封装前定位等关键工序。设备可实时完成位置偏差监测、数据反馈、动态纠偏闭环控制，确保晶圆全程保持标准加工位置与传输轨迹，从源头解决量产中因对位偏移导致的不良品、物料损耗、工序返工等问题。实测数据显示，搭载兰宝CCD纠偏方案后，人工校准成本降低80%，设备停机时间大幅减少，助力企业实现降本增效、品质升级双重目标。

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LANBAO SENSOR

兰宝CCD线径纠偏传感器

兰宝PDM激光CCD线径测量传感器

PDM Laser CCD Wire Diameter Measurement Sensor

◆精美的外观设计，轻重量铝制外壳，便于安装与拆卸

◆ 宽范围、实现高精度测量，多种测量模式可选

◆ 便捷的操作面板搭配直观数字显示

◆ 小型传感器和控制器，节省设置空间

◆ 功能丰富，设定方便，应用广泛

兰宝PDT光电测距传感器

PDT photoelectric ranging sensor

◆兼容一拖二、多控制器级联、EtherCAT组网

◆ 宽范围、高精度测量、多种模式可选

◆ 精美的外观设计，坚固轻质铝外壳

◆ 便捷的操作面板搭配双数字显示

◆ 光轴对准指示，轻松安装对准

作为深耕工业传感领域的高新技术企业，兰宝传感聚焦半导体智能制造痛点，专注研发适配高端制造的纠偏、测距传感设备。旗下CCD线径纠偏传感器专为晶圆精密加工场景定制，精准对标半导体行业高精度、高稳定性、高可靠性量产标准，支持 EtherCAT工业总线，可无缝对接各类自动化晶圆产线。未来，兰宝传感将持续深耕半导体赛道，迭代优化传感纠偏技术与产品性能，以硬核工业传感能力，助力中国半导体产业规模化、精密化、高效化升级发展。

审核编辑 黄宇